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_精密研磨技術的現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢
摘要： 概述了_近_精密研磨技術的研究動態(tài),，介紹了研磨技術的原理,、 應用和優(yōu)勢，同時介紹了課題組研制的基于修正環(huán)在線修整拋光盤技術及_數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)控制的Nanopol i -100 智能型納米級拋光機,，結合該領域的_新研究成果,，提出了其向高精度,、 _率發(fā)展的方向。
關鍵詞： 研磨技術,； _精密,； Nanopoli-100 智能型研磨拋光機； 發(fā)展動向；_精密研磨
引言
研磨是一種重要的精密和_精密加工方法,。其定義可以表述為：利用磨具通過磨料作用于工件表面,，進行微量加工的過程。 根據(jù)加工方法的機理和特點,，_基本的加工方法可以分為： 去除加工,、 結合加工和變形加工3 大類4。然而,，在_新的多性能復雜形態(tài)的元件加工中,，往往是上述幾種加工法的復合作用。
1微量材料去除的機械作用及化學作用設想
材料去除的_小單位是1 層原子的話,，那么,，_基本的材料去除是將表面的一層原子與內(nèi)部的原子切開。 機械加工必然殘留有加工變質(zhì)層,，加工中還伴隨著化學反應等復雜現(xiàn)象56,，材料去除的原理是從一層原子到數(shù)層原子乃至數(shù)十層原子幾種狀態(tài)的復合。
圖1 所示的是磨粒研磨加工的模型7,。單個磨粒的磨削模型,，可以用磨粒對工件的機械作用的動作來描述,，即按摩擦2耕犁2切削的動作順序進行,。在加工中的化學反應結果對材料的去除及減小加工變質(zhì)層可能是有利的。
2 研磨技術的發(fā)展
研磨加工不僅向_的加工精度發(fā)展,，而且其加工質(zhì)量也在不斷提高,，且?guī)缀蹩梢约庸固態(tài)材料。許多人從事研磨加工技術,，研究的宗旨是進一步提高研磨加工效率,、 加工精度，降低加工成本10,。
目前,，國內(nèi)外研磨加工主要還是采用散粒磨料在慢速研磨機上研磨。 其特點是加工精度高,、 加工設備簡單,、投資少，但是加工精度不穩(wěn)定,、 加工成本高,、 效率低。
3幾種納米級研磨加工方法
3.1 彈性發(fā)射加工
彈性發(fā)射加工裝置（Elastic Emissi on Machining,，EEM ）見圖2,。_Mori和Tsuwa1描述，它是一種新的 “原子級尺寸加工方法” 。EEM 使用軟（在微小壓力下很容易發(fā)生變形）的聚亞胺酯球作為拋光工具（研磨工具） ,，同時控制旋轉軸與加工工件的接觸線保持在45° 角,。拋光時，垂直工件方向施加載荷,，并且保持載荷是1 個常量,。EEM 采用亞L m 尺寸微粉，微粉與水混合,。通過強迫微粉在旋轉的聚亞胺酯球表面下方與工件間距（近似1 L m,，也_是大于研磨微粉尺寸）加工工件2。 通過采用多種方法如光干涉測量,、 掃描隧道顯微測量和加工面電壓測量等,，觀測被加工表面，證實EEM 可使加工件具有 “包括幾何形狀和表面形狀_的表面” 34,。他們得出結論： EEM 加工中的化學作用是研磨微粉表面的化學作用（不同于化學蝕刻加工時的蝕刻劑） 5,。
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