_精加工目前尚沒有統(tǒng)一的定義,,在不同的時期,,不同的科學技術發(fā)展水平情況下,有不同的理解,。通常我們把被加工零件的尺寸精度和形位精度達到零點幾微米,,表面粗糙度優(yōu)于百分之幾微米的加工技術稱為
_精加工技術。 _
精密加工的重要手段包括:
一,、_精密切削,, 如_精密金剛石刀具鏡面車削、銷削和銑削等,。
二,、_精密磨削、研磨和拋光,。
三,、_精密微細加工(電子束、離子束,、激光束加工以及微硅器件的加工,、 LIGA技術等)。 _
精密加工技術市場是__技術集中的市場,,它既是高代價,、高投入的工藝技術,又是高增值,、高回報的工藝技術,,世界工業(yè)__都把它放在_技術和經濟振興的重要位置,。如:
(1)_精密偶件加工。如,,慣性導航儀器系統(tǒng)中的氣浮陀螺的浮子及支架,、氣浮陀螺馬達軸承等零件的尺寸精度、圓度和圓柱度都要求達到亞微米級精度,;人造衛(wèi)星儀器軸承是真空無潤滑軸承,,其孔和軸的表面粗糙度Rα達到1nm,圓度 和圓柱度均為納米級精度,。這些零件都是用_精密金剛石刀具鏡面車削加工的,。精密液壓控制系統(tǒng)中的精密伺服閥的閥芯與閥套的配合精度也常在亞微米等級,它是用_精密磨削方法加工的,。
(2)_精密異形零件加工,。例如,航空高速多辨防滑軸承的內滾道/激光陀螺微晶玻璃腔體,,都是用_精密數控磨削加工而成的,。陀螺儀框架與平臺是形狀復雜的高精度零件,是用_精密數控銑床加工的,。
(3)_精密光學零件加工,。例如,激光陀螺的反射鏡的平面度達0.05μm,,表面粉糙度Rα達0.001μm,、它是由_精密拋研加工、再進行鍍膜而成,,_終要求反射率達99.99%,。一些高精度瞄準系統(tǒng)要求小型化,所以用少量非球面鏡來代替復雜的光學系統(tǒng),。這些非球鏡是用_精密車,、磨、研,、拋加工而成的,。_近,二元光學器件的理論研究進展很大,,二元光學器件的制造設備是專用的_精密加工設備,。在民用方面,隱形眼鏡_是用_精密數控車床加工而成的,。計算機的硬盤、光盤,、復印機等高技術產品的很多精密零件都是用_精密加工手段制成的,。
(4)微機電系統(tǒng)器件加工微機電系統(tǒng)(ME— MS)是從集成電路制造技術發(fā)展起來的新興機電產品,,如微小型傳感器、執(zhí)行器等,。硅光刻技術,、LIGA技術和其它微細加工技術的生產設備、檢測設備都是_
精密加工的產品,。