_精加工目前尚沒有統(tǒng)一的定義,在不同的時期,不同的科學(xué)技術(shù)發(fā)展水平情況下,,有不同的理解,。通常我們把被加工零件的尺寸精度和形位精度達到零點幾微米,表面粗糙度優(yōu)于百分之幾微米的加工技術(shù)稱為
_精加工技術(shù),。 _
精密加工的重要手段包括:
一,、_精密切削, 如_精密金剛石刀具鏡面車削,、銷削和銑削等,。
二、_精密磨削,、研磨和拋光,。
三、_精密微細(xì)加工(電子束,、離子束,、激光束加工以及微硅器件的加工、 LIGA技術(shù)等),。 _
精密加工技術(shù)市場是__技術(shù)集中的市場,,它既是高代價、高投入的工藝技術(shù),,又是高增值,、高回報的工藝技術(shù),世界工業(yè)__都把它放在_技術(shù)和經(jīng)濟振興的重要位置,。如:
(1)_精密偶件加工,。如,慣性導(dǎo)航儀器系統(tǒng)中的氣浮陀螺的浮子及支架,、氣浮陀螺馬達軸承等零件的尺寸精度,、圓度和圓柱度都要求達到亞微米級精度;人造衛(wèi)星儀器軸承是真空無潤滑軸承,,其孔和軸的表面粗糙度Rα達到1nm,,圓度 和圓柱度均為納米級精度,。這些零件都是用_精密金剛石刀具鏡面車削加工的。精密液壓控制系統(tǒng)中的精密伺服閥的閥芯與閥套的配合精度也常在亞微米等級,,它是用_精密磨削方法加工的,。
(2)_精密異形零件加工。例如,,航空高速多辨防滑軸承的內(nèi)滾道/激光陀螺微晶玻璃腔體,,都是用_精密數(shù)控磨削加工而成的。陀螺儀框架與平臺是形狀復(fù)雜的高精度零件,,是用_精密數(shù)控銑床加工的,。
(3)_精密光學(xué)零件加工。例如,,激光陀螺的反射鏡的平面度達0.05μm,,表面粉糙度Rα達0.001μm、它是由_精密拋研加工,、再進行鍍膜而成,,_終要求反射率達99.99%。一些高精度瞄準(zhǔn)系統(tǒng)要求小型化,,所以用少量非球面鏡來代替復(fù)雜的光學(xué)系統(tǒng),。這些非球鏡是用_精密車、磨,、研,、拋加工而成的。_近,,二元光學(xué)器件的理論研究進展很大,,二元光學(xué)器件的制造設(shè)備是專用的_精密加工設(shè)備。在民用方面,,隱形眼鏡_是用_精密數(shù)控車床加工而成的,。計算機的硬盤、光盤,、復(fù)印機等高技術(shù)產(chǎn)品的很多精密零件都是用_精密加工手段制成的,。
(4)微機電系統(tǒng)器件加工微機電系統(tǒng)(ME— MS)是從集成電路制造技術(shù)發(fā)展起來的新興機電產(chǎn)品,如微小型傳感器,、執(zhí)行器等,。硅光刻技術(shù)、LIGA技術(shù)和其它微細(xì)加工技術(shù)的生產(chǎn)設(shè)備,、檢測設(shè)備都是_
精密加工的產(chǎn)品。